BS-4020A Trinocular Industriell Wafer Inspektioun Mikroskop
Aféierung
BS-4020A industriellen Inspektiounsmikroskop gouf speziell fir Inspektiounen vu verschiddene Gréissten wafers a grousse PCB entwéckelt. Dëse Mikroskop kann eng zouverlässeg, komfortabel a präzis Observatiounserfarung ubidden. Mat perfekt duerchgefouert Struktur, héich-Definitioun opteschen System an ergonomesch Betribssystem, realiséiert BS-4020 berufflech Analyse an meets verschidde Besoine vun Fuerschung an Inspektioun vun wafers, FPD, Circuit Package, PCB, Material Wëssenschaft, Präzisioun Lous, metalloceramics, Präzisioun Ofdréck, semiconductor an elektronesch etc.
1. Perfekt mikroskopesch Beliichtungssystem.
De Mikroskop kënnt mat Kohler Beliichtung, bitt hell an eenheetlech Beliichtung am ganze Gesiichtsfeld. Koordinéiert mat Infinity opteschen System NIS45, héich NA an LWD Objektiv, perfekt mikroskopesch Imaging ka geliwwert ginn.
Fonctiounen
Hell Feld vu reflektéierter Beliichtung
BS-4020A adoptéiert en exzellenten Infinity opteschen System. D'Sichtfeld ass eenheetlech, hell a mat héijer Faarfreproduktiounsgrad. Et ass gëeegent opak Halbleiter Echantillon ze observéieren.
Däischter Feld
Et kann High-Definition-Biller bei donkeler Feldobservatioun realiséieren an eng héich Empfindlechkeetsinspektioun op d'Feeler wéi feine Kratzer realiséieren. Et ass gëeegent fir Uewerfläch Inspektioun vun Echantillon mat héich Ufuerderunge.
Hell Feld vun iwwerdroe Beliichtung
Fir transparent Proben, wéi FPD an optesch Elementer, kann déi hell Feldobservatioun duerch Kondensor vum iwwerdroene Liicht realiséiert ginn. Et kann och mat DIC benotzt ginn, einfach Polariséierung an aner Accessoiren.
Einfach Polariséierung
Dës Observatiounsmethod ass gëeegent fir Bibriechungsexemplare wéi metallurgesch Stoffer, Mineralstoffer, LCD an Hallefleitmaterialien.
Reflexéiert Beliichtung DIC
Dës Method gëtt benotzt fir kleng Differenzen a Präzisiounsformen ze beobachten. D'Observatiounstechnik kann dee klengen Héichtenënnerscheed weisen, deen net op eng gewéinlech Beobachtungsweis a Form vu Prägung an dreidimensional Biller ze gesinn ass.
2. Héich Qualitéit Semi-APO an APO Bright Feld & Däischter Feldziler.
Duerch d'Adoptioun vun der Multilayer Beschichtungstechnologie kann d'NIS45 Serie Semi-APO an APO Objektivlens d'Sphäresch Aberratioun an d'chromatesch Aberratioun vun Ultraviolet bis no Infrarout kompenséieren. D'Schärft, d'Resolutioun an d'Faarfvirstellung vun de Biller kënne garantéiert ginn. D'Bild mat héijer Opléisung a flaach Bild fir verschidde Vergréisserunge ka kritt ginn.
3. D'Operatiounspanel ass virun der Mikroskop, bequem ze bedreiwen.
De Mechanismus Kontrollpanel ass virun der Mikroskop (bei de Bedreiwer), wat d'Operatioun méi séier a bequem mécht wann Dir d'Probe beobachtet. An et kann d'Müdegkeet reduzéieren, déi duerch laang Zäit Observatioun verursaacht gëtt an de schwiewende Stëbs, deen duerch eng grouss Beweegungspalette bruecht gëtt.
4. Ergo kippende trinokuläre Bléckkapp.
Den Ergo kippende Gesiichtskop kann d'Observatioun méi bequem maachen, sou datt d'Muskelspannung an d'Onbequemlechkeet duerch laang Aarbechtsstonnen miniméiert gëtt.
5. Fokusmechanismus a Feinjustéierungshandtak vun der Bühn mat niddereger Handpositioun.
De Fokusmechanismus a Feinjustéierungshandtak vun der Bühn adoptéieren den nidderegen Handpositiounsdesign, deen dem ergonomesche Design entsprécht. D'Benotzer brauchen net d'Hänn z'erhiewen beim Operéieren, wat de gréisste Grad vu bequemem Gefill gëtt.
6. D'Bühn huet en agebaute Kupplungshandtak.
D'Kupplungshandtak kann de séieren a luesen Bewegungsmodus vun der Bühn realiséieren a ka séier grouss Flächenproben lokaliséieren. Et wäert net méi schwéier sinn d'Proben séier a präzis ze lokaliséieren wann Dir mam Feinjustéierungshandtak vun der Bühn zesumme benotzt.
7. Iwwergréisst Etapp (14 "x 12") kann fir grouss wafers an PCB benotzt ginn.
D'Beräicher vun der Mikroelektronik a Hallefleitproben, besonnesch Wafer, tendéieren grouss ze sinn, sou datt déi gewéinlech metallographesch Mikroskopbühn hir Observatiounsbedürfnisser net erfëllen kann. BS-4020A huet eng iwwerdimensional Bühn mat enger grousser Bewegungsberäich, an et ass bequem an einfach ze plënneren. Also ass et en idealt Instrument fir mikroskopesch Observatioun vu grousse Beräicher industriell Echantillon.
8. 12 "Wafelhalter kënnt mam Mikroskop.
12 Zoll Wafer a méi kleng Gréisst Wafer kënne mat dësem Mikroskop observéiert ginn, mat schnelle a feine Bewegungsbühnehandtak, et kann d'Aarbechtseffizienz staark verbesseren.
9. Anti-statesch Schutzmoossnamen Cover kann Stëbs reduzéieren.
Industrie Echantillon soll wäit ewech vun schwiewend Stëbs sinn, an e bësse Stëbs kann Produit Qualitéit an Test Resultater Afloss. BS-4020A huet e grousst Gebitt vun antistatesche Schutzdeckel, deen aus dem schwiewende Stëbs a Fallstëbs verhënneren kann, fir d'Proben ze schützen an d'Testresultat méi genee ze maachen.
10. Méi laang Aarbechtsdistanz an héich NA Objektiv.
Déi elektronesch Komponenten an Hallefleit op Circuit Board Echantillon hunn Héichtdifferenz. Dofir sinn laang Aarbechtsdistanzziler op dësem Mikroskop ugeholl ginn. Mëttlerweil, fir d'Industrie Echantillon héich Ufuerderunge op Faarf Reproduktioun ze zefridden, ass d'Multilayer Beschichtung Technologie iwwer d'Joren entwéckelt a verbessert ginn an BF & DF semi-APO an APO Objektiv mat héijen NA ugeholl ginn, wat d'real Faarf vu Proben restauréiere kann. .
11. Verschidde Observatiounsmethoden kënnen verschidden Testerfuerderunge erfëllen.
| Beliichtung | Hell Feld | Däischter Feld | DIC | Fluorescent Luucht | Polariséiert Liicht |
| Reflexéiert Beliichtung | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| Iwwerdroen Beliichtung | ○ | - | - | - | ○ |
Applikatioun
BS-4020A industriellen Inspektiounsmikroskop ass en idealt Instrument fir Inspektiounen vu verschiddene Gréissten wafers a grousse PCB. Dëse Mikroskop kann an Universitéiten, Elektronik a Chipsfabriken fir Fuerschung an Inspektioun vu Wafers, FPD, Circuit Package, PCB, Materialwëssenschaft, Präzisiounsgoss, Metalloceramik, Präzisiounsform, Halbleiter an Elektronik etc.
Spezifizéierung
| Artikel | Spezifizéierung | BS-4020A Präis | BS-4020B Fotoen | |
| Optesch System | NIS45 Infinite Color Corrected Optical System (Röhrlängt: 200 mm) | ● | ● | |
| Kuckt Kapp | Ergo kippende Trinokulaire Kapp, justierbar 0-35 ° Schréiegt, interpupillär Distanz 47mm-78mm; Spaltverhältnis Okular: Trinokulär = 100:0 oder 20:80 oder 0:100 | ● | ● | |
| Seidentopf Trinokulaire Kapp, 30° Schréiegt, interpupillär Distanz: 47mm-78mm; Spaltverhältnis Okular: Trinokulär = 100:0 oder 20:80 oder 0:100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf Binocular Head, 30° Schréiegt, Interpupillär Distanz: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| Okular | Super breet Feldplang Okular SW10X/25mm, Diopter justierbar | ● | ● | |
| Super breet Feldplang Okular SW10X/22mm, Diopter justierbar | ○ | ○ | ||
| Extra breet Feldplang Okular EW12.5X/17.5mm, Diopter justierbar | ○ | ○ | ||
| Breetfeldplang Okular WF15X/16mm, Dioptrie justierbar | ○ | ○ | ||
| Breetfeldplang Okular WF20X/12mm, Dioptrie justierbar | ○ | ○ | ||
| Objektiv | NIS45 Onendlech LWD Plan Semi-APO Zil (BF & DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
| NIS45 Onendlech LWD Plan APO Zil (BF & DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
| NIS60 onendlech LWD Plan Semi-APO Zil (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 onendlech LWD Plan APO Zil (BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| Nosepiece | Backward Sextuple Nosepiece (mat DIC Slot) | ● | ● | |
| Kondensator | LWD Kondensator NA0.65 | ○ | ● | |
| Iwwerdroen Beliichtung | 40W LED Stroumversuergung mat opteschen Faser Liichtguide, Intensitéit justierbar | ○ | ● | |
| Reflexéiert Beliichtung | Reflektéiert Liicht 24V/100W Halogenlampe, Koehler Beliichtung, mat 6 Positiounen Turret | ● | ● | |
| 100W Halogenlampehaus | ● | ● | ||
| Reflektéiert Liicht mat 5W LED Lampe, Koehler Beliichtung, mat 6 Positiounen Turret | ○ | ○ | ||
| BF1 hell Feld Modul | ● | ● | ||
| BF2 hell Feld Modul | ● | ● | ||
| DF donkel Feld Modul | ● | ● | ||
| Built-in ND6, ND25 Filter a Faarfkorrekturfilter | ○ | ○ | ||
| ECO Funktioun | ECO Funktioun mat ECO Knäppchen | ● | ● | |
| Fokusséieren | Niddereg-Positioun koaxial grob a fein fokusséieren, fein Divisioun 1μm, Beweegbereich 35mm | ● | ● | |
| Etapp | 3 Schichten mechanesch Bühn mat Kupplungshandtak, Gréisst 14 "x12" (356mmx305mm); bewegt Gamme 356mmX305mm; Beliichtung Beräich fir iwwerdroen Liichtjoer: 356x284mm. | ● | ● | |
| Waferhalter: kéint benotzt ginn fir 12 Zoll Wafer ze halen | ● | ● | ||
| DIC Kit | DIC Kit fir reflektéiert Beliichtung (kann fir 10X, 20X, 50X, 100X Objektiver benotzt ginn) | ○ | ○ | |
| Polarisatioun Kit | Polarisator fir reflektéiert Beliichtung | ○ | ○ | |
| Analysator fir reflektéiert Beliichtung, 0-360 ° rotéierbar | ○ | ○ | ||
| Polarisator fir iwwerdroe Beliichtung | ○ | ○ | ||
| Analyser fir iwwerdroe Beliichtung | ○ | ○ | ||
| Aner Accessoiren | 0.5X C-Mount Adapter | ○ | ○ | |
| 1X C-Mount Adapter | ○ | ○ | ||
| Stëbs Cover | ● | ● | ||
| Stroumkabel | ● | ● | ||
| Kalibrierung Rutsch 0,01 mm | ○ | ○ | ||
| Exemplar Presser | ○ | ○ | ||
Opgepasst: ● Standard Outfit, ○ Optional
Beispill Bild
Dimensioun
Eenheet: mm
System Diagramm
Zertifikat
Logistik
